私たちは、半導体のフロントエンドで最も厳しい課題の一つである、ウェハーダイシング後のUVフィルムをきれいに除去するために、このUV中圧水銀蒸気ランプを開発しました。目標は明快です—非常に安定し、強烈で、接着剤を速やかに剥がすために必要な波長を正確に照射し、ライン全体の生産速度を維持するビームを提供することです。
出力、電圧、そして実際の性能を重視
当社のランプは、365nm付近の密度の高い集束UV光を放射します。これは、ウェハーのマウント時に使用されるほとんどのUV硬化接着剤に最適な波長です。高照度に調整しているため、繊細なシリコンを過熱させることなく、エネルギーがフィルムを迅速に貫通します。電圧とワット数はバラストと電源に合わせて調整されており、点火は安定し、アークも持続的です。その安定したアークは、プロセスの再現性を保証し、歩留まりを守ります。
材料と設計の細部が重要な理由
石英管は高い内部圧力と熱負荷に耐える強度を持ち、毎日の使用に耐えます。中圧水銀蒸気の充填により、鋭いスペクトル特性を実現しています。端部は通常、標準的な工業用ベースを用いて確実な電気接続ができるよう設計されており、アーク放電なしに電流を流せます。全体は既存の設備にそのまま取り付け可能で、配線してすぐに使用できます。装置の再設計は不要です。
ウェハーラインでの効果
ウェハーを切断する際、速度と制御は必須です。当社のランプは接着剤に迅速なUV照射を行い、ほぼ瞬時に鎖切断を誘発します。これにより、高スループットでのデボンドが可能となり、機械的な力に頼ってウェハーにストレスを与えることがありません。また、波長が集中しているため、エネルギーは必要な箇所に正確に届き、基板を歪ませる余分な熱の発生を抑えます。
ただし、高出力密度には適切な冷却が不可欠です。空冷でも液冷でも、冷却システムはワット数に合わせて設計され、ランプ封入体の温度管理と光学系の保護を確実に行います。このバランスが取れていれば、ランプは数千時間にわたり安定稼働します。
このランプは24時間365日のファブの過酷な環境に対応できるよう設計されています。稼働時間の信頼性と再現性を重視し、デボンド工程がライン全体の速度にしっかり追従します。