เราได้พัฒนาโคมไฟไอปรอทแรงดันกลางชนิด UV สำหรับหนึ่งในจุดที่ท้าทายที่สุดในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ช่วงต้น: การลอกฟิล์ม UV ออกอย่างสะอาดหลังจากการตัดเวเฟอร์ เป้าหมายชัดเจน—ให้ลำแสงที่มั่นคง เข้มข้น และตรงกับความยาวคลื่นที่ทำให้กาวหลุดออกอย่างรวดเร็ว เพื่อให้สายการผลิตทั้งหมดยังคงเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่อง
กำลังไฟ, แรงดัน, และผลลัพธ์—ความจริงที่ต้องรักษาไว้
โคมไฟของเราปล่อยลำแสง UV เข้มข้นและมีความโฟกัสรอบ ๆ 365 นาโนเมตร ซึ่งเป็นจุดที่เหมาะสมที่สุดสำหรับกาวที่รักษาด้วย UV ส่วนใหญ่ที่ใช้เมื่อติดตั้งเวเฟอร์ เราปรับแต่งให้มีความเข้มสูงเพื่อให้พลังงานทะลุผ่านฟิล์มได้อย่างรวดเร็วโดยไม่ทำให้ซิลิคอนที่บอบบางร้อนเกินไป แรงดันและวัตต์ถูกจับคู่กับบัลลาสต์และแหล่งจ่ายไฟเพื่อให้จุดติดไฟสม่ำเสมอและสถิตของโคมไฟคงที่ โคมไฟที่สถิตนี้หมายถึงกระบวนการของคุณจะทำซ้ำได้อย่างต่อเนื่อง—ความสม่ำเสมอที่ช่วยปกป้องผลผลิต
ทำไมรายละเอียดในวัสดุและการออกแบบจึงสำคัญ
ท่อควอตซ์มีความทนทานพอที่จะรับมือกับแรงดันภายในสูงและความร้อนสะสมวันแล้ววันเล่า ไอปรอทแรงดันกลางเป็นสิ่งที่ให้การปล่อยสเปกตรัมที่คมชัด และปลายท่อถูกสร้างขึ้นเพื่อการเชื่อมต่อไฟฟ้าที่มั่นคง โดยปกติจะใช้ฐานมาตรฐานอุตสาหกรรมที่นำกระแสไฟได้โดยไม่มีการลัดวงจร โคมไฟทั้งชุดถูกออกแบบมาให้สามารถติดตั้งเข้ากับอุปกรณ์ที่คุณมีอยู่แล้วได้ทันที เพียงแค่เดินสายไฟแล้วใช้งาน ไม่ต้องปรับโครงสร้างอุปกรณ์ใหม่
ผลตอบแทนในสายการผลิตเวเฟอร์
เมื่อคุณกำลังตัดเวเฟอร์ ความเร็วและการควบคุมไม่ใช่เรื่องเลือกได้ โคมไฟของเราส่งพลังงาน UV อย่างรวดเร็วไปยังกาว กระตุ้นการตัดพันธะเชนเกือบจะทันที ซึ่งหมายความว่าคุณสามารถแยกชั้นกาวได้ด้วยอัตราการผลิตสูงโดยไม่ต้องใช้แรงกลที่อาจทำให้เวเฟอร์เสียหาย และเนื่องจากความยาวคลื่นถูกโฟกัส พลังงานจะลงจุดที่ต้องการอย่างแม่นยำ ลดความร้อนที่กระจายไปยังวัสดุพื้นรองรับที่อาจทำให้บิดเบี้ยว
แต่นี่คือข้อควรระวัง: ความหนาแน่นพลังงานสูงหมายความว่าคุณต้องจัดการระบบระบายความร้อนอย่างเหมาะสม ไม่ว่าจะเป็นอากาศหรือของเหลว—ระบบระบายความร้อนต้องถูกออกแบบให้เหมาะสมกับวัตต์ไฟเพื่อรักษาอุณหภูมิของโคมไฟและปกป้องออปติกส์ เมื่อตั้งค่าได้ตรงกัน โคมไฟจะทำงานได้อย่างเชื่อถือได้เป็นพันชั่วโมง
โคมไฟนี้ถูกสร้างขึ้นสำหรับการทำงานหนักในโรงงานผลิตแบบ 24/7 มันคือความพร้อมใช้งานที่คุณวางใจได้และความสม่ำเสมอที่คุณเชื่อถือได้ เพื่อให้ขั้นตอนการแยกชั้นกาวของคุณเดินหน้าไปพร้อมกับทุกส่วนในสายการผลิต